YuTong Li, Zhiqang Gao, Wei Wei Qin, Qiu Jun Wen, Ma Xian Jun, Wei Du, Xiaoqiang Chen, Hu Xue Feng e Wei Zhang
Filmes piezoelétricos de ZnO de grande área com diferentes tamanhos de grão foram sintetizados pela técnica sol-gel utilizando diferentes temperaturas de recozimento de 550 a 700°C. A eficiência piezoelétrica (PE) destes filmes depositados é caracterizada por Microscopia de Força Piezoelétrica (PFM). Todos os filmes sintetizados exibem uma estrutura cristalina. A largura da curva da rocha de [0002] caracterizada pela difracção de raios X diminui com a temperatura de recozimento, sugerindo um filme de ZnO melhor orientado para o eixo c formado a temperaturas de recozimento mais elevadas. O tamanho de grão dos filmes crescidos aumenta continuamente de 20 para 60 nm quando as temperaturas de recozimento aumentam de 550 para 700°C. A eficiência piezoeléctrica (PE, d33) dos filmes apresenta uma forte dependência do tamanho de grão, ou seja, o PE aumenta inicialmente com a temperatura de recozimento e depois diminui com o aumento da temperatura de recozimento. O valor máximo de PE surge no filme recozido a 650ºC. The peculiar piezoelectric properties (d33) can be explained by the competing between the crystalline, which favors a larger d33 due to the enhanced dipole polarization, and the grain size, which results in a piezoforce release at large grain size due to domain wall size and movimento.